激光诱导深度蚀刻(LIDE)
高纵横/径厚比的玻璃微加工
LIDE是什么?
LIDE指的是激光诱导深度蚀刻
LIDE工艺仅需两个步骤。其特点是以前所未有的加工效率,经济可靠的制作径厚比大于1:10的结构。最小可以加工小于5 μm的超微孔。
Step 1:
第一步,根据设计图形对加工玻璃进行选择性激光改性。在LIDE工艺中,单次激光脉冲即足以产生对全厚度的改性效果,超高的效率适用于大批量的生产需求。
Step 2:
第二步,改性区域通过湿化学蚀刻法,其被蚀刻速度远远高于未被改性过的材料。
LIDE技术显著特点
LIDE技术所达到的优异性能,使其成为微系统技术研究突破性进展。
断裂强度
LIDE不产生微裂隙,碎屑,以及内应力残存等。LIDE工艺并不会降低玻璃本身优良的机械性能,目前这是最先进的玻璃加工技术。
玻璃种类
LIDE无需特殊玻璃基材。该技术适合于不同供应商提供的所有以硅酸盐为基础的通用玻璃。