无瑕疵表面
侧壁垂直
激光诱导深度蚀刻应用于晶圆级封装
玻璃材料的新机遇
得益于与硅绝好的兼容性,玻璃已被逐渐应用于晶圆级封装。LIDE可以改进现有的应用,并发展新的基于玻璃的晶圆级封装方案。
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